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硅片切片后超声波清洗机
 

硅片切片后超声波清洗机

产品特点:

1、主要用于太阳能电池片单晶制绒和制绒后的酸洗;

2、采用伺服电机、导轨、丝杆提升、横移,运行稳定,准确;

3、特有的防压篮保护装置 ,预防异常情况的损坏;

4、NaOH、IPA、DIW、HF等的自动计量精准补液系统,准确控制补液的用量;

5.PLC全程序控制及触摸屏人机界面操作。

该设备可用效去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质。自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染,且不破坏晶片表面特性。可用于扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。         例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗等。                                                    哲惜供应全自动硅片清洗机和手动硅片清洗机,半自动硅片清洗机等。                        网址:www.zhexiqingxiji.com

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